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Sistema de pulverização de magnetron em linha

Pequena descrição:

O sistema Inline Magnetron Sputtering é um tipo de equipamento de deposição de filme fino a vácuo que funciona para diferentes propósitos.As aplicações mais comuns da nossa linha de pulverização catódica incluem:

Fabricação de espelhos de alumínio

Revestimento de vidro ITO
Vidro antirreflexo
Revestimentos decorativos para aço inoxidável e vidro

Este sistema de revestimento é adequado para aplicações de revestimento a vácuo de alta qualidade.Produz desempenho de trabalho estável para melhorar a qualidade dos filmes de revestimento a vácuo.

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A máquina de revestimento por pulverização catódica em linha é principalmente DC (ou MF) O revestimento por pulverização catódica por magnetron pode ser adaptado a uma ampla gama de alvos, tais como: cobre, titânio, cromo, aço inoxidável, níquel e outros materiais metálicos que podem ser revestidos usando um processo de pulverização catódica pode melhorar a adesão do filme, reprodutibilidade, densidade, uniformidade e outras características.

uma.As características e parâmetros básicos
b.a estrutura da linha horizontal pode ser realizada simultaneamente revestida em um lado
c.eficiência de produção, as velocidades mais rápidas de até 1 min/batida
d.design modular, fácil manutenção
e.maturidade do processo de chapeamento, alto rendimento
f.Os cátodos de pulverização do magnetron DC podem variar dependendo dos requisitos do cliente
g.sistema de vácuo consiste em uma bomba mecânica, bombas Roots, bombas de difusão (bomba molecular) Composição
h.O tamanho do corpo da linha pode variar dependendo dos requisitos do cliente

1) Os materiais do corpo da câmara de vácuo usaram SUS304, polimento de um tratamento de parede de câmara de vácuo, processamento de grânulos de polimento de pulverização de parede externa.
2) O uso de uma válvula de gaveta independente entre a câmara de vácuo - a válvula de aba separada pode efetivamente cortar e estabilizar o gás de processo.Atualmente, nossa empresa adota o design da válvula flapper, veda melhor, mais durável do que a atual válvula flap comum doméstica.
3) A transmissão usa guia magnética, protege a estabilidade da unidade.Para cada velocidade de toda a linha de produção usando o acionamento do motor VVVF, a velocidade de operação pode ser ajustada.
4) Sistema de controle elétrico: Tela sensível ao toque e controle automático PLC, diálogo homem-máquina para alcançar o sistema de exibição de dados, parâmetros operacionais e tecnologia de controle
1) Pressão de vácuo final: 6 × 1 0E-4 Pa
2) o ciclo médio de produção: de acordo com o produto determinado
3) Tamanho do suporte de substrato: pode ser personalizado de acordo com os requisitos de
4) Uniformidade do filme: ± 3% de tecnologia avançada de campo móvel melhorou muito a utilização do alvo
O design do aquecedor segmentado é propício para a otimização do processo.