-Uma/duas portas
A estrutura e a câmara são feitas de aço inoxidável carbono.
Cada porta fornece uma janela de inspeção para o controle visual do processo.As paredes da porta fornecem um revestimento de aço inoxidável que pode ser facilmente removido para manutenção.
-Câmara de vácuo personalizada
A câmara fornece forros internos de aço inoxidável de fácil remoção para limpeza.
As bombas ficam em sua parte traseira.
A câmara possui uma série de pequenos flanges para fins de medição.
-Sistema de bombeamento de alto vácuo
Bomba de difusão + bomba Booster + bomba mecânica
- Medição e controle de vácuo
Com medidor de metal Pirani + medidor de ionização de metal
-Sistema móvel de acessórios
-Unidade de controle PLC
-Sistema de evaporação de alumínio com transformador de alta potência
-Armação de ferro
A estrutura é razoável
A camada de filme é uniforme
Qualidade de formação de filme
Alta velocidade de bombeamento, ciclo de trabalho curto e alta eficiência de produção
A operação é conveniente
Baixo consumo de energia e desempenho estável
Número do modelo | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Duas portas ou modelo de duas câmaras estão disponíveis | |
Dimensão da câmara de vácuo (diâmetro * altura) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Material da câmara de vácuo | Aço carbono, SUS304 ou SUS316L | ||||||
tecnologia de trabalho | evaporação de resistência a vácuo com filamentos de tungstênio e alumínio, transformador de evaporação de alta potência | ||||||
Sistema de bombeamento | Bomba de difusão + bombas mecânicas, bomba de reforço | ||||||
Tempo de bombeamento | Da atmosfera para 5,0*10-2Pa menos de 8 minutos | ||||||
Limite de Vácuo | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Temperatura de trabalho | Temperatura do quarto | ||||||
Modo de trabalho | Modo automático ou manual, por tela de toque PLC de 10,4 polegadas | ||||||
Poder total | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Pegada | 2*2 metros | 2*3 metros | 3*3 metros | 3*3 metros | 3*4 metros | 4*5 metros | 5*6 metros |
Essas unidades você pode personalizar | 1. Tamanho da câmara de vácuo 2. Configurações de bombas | ||||||
Instrumentos opcionais | 1. Detector de vazamento 3. Sistema de deposição de íons de arco 4. Sistema de pulverização catódica Magntron |